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半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)解決方案

1.腔室清潔終點(diǎn)精確控制的重要性與挑戰(zhàn)薄膜沉積(如CVD/ALD)、光刻和刻蝕是半導(dǎo)體制造的三大核心工藝,其中薄膜沉積作為基礎(chǔ)環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)金屬、介質(zhì)及半導(dǎo)體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性,需定期使用NF?對(duì)腔室進(jìn)行清潔,以去除積聚的聚合物材料。精確控制清潔終點(diǎn)至關(guān)重要:l清潔不足:殘留沉積物會(huì)形成顆粒污染,導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降l過度清潔:增加NF?消耗、延長(zhǎng)設(shè)備停機(jī)時(shí)間并縮短腔室壽命。傳統(tǒng)方法依賴經(jīng)驗(yàn)時(shí)間控制清潔終點(diǎn),但最佳清潔時(shí)間受多變量影響(如沉積厚度、溫度、壓力、氣體...

  • 2025

    5-8

    2025年4月23日,習(xí)近平主席在氣候和公正轉(zhuǎn)型領(lǐng)導(dǎo)人視頻峰會(huì)上發(fā)表致辭,強(qiáng)調(diào)各國(guó)應(yīng)堅(jiān)守多邊主義、深化國(guó)際合作、推動(dòng)公正轉(zhuǎn)型、強(qiáng)化務(wù)實(shí)行動(dòng),中國(guó)將深化南南合作并宣布覆蓋全經(jīng)濟(jì)范圍、包括所有溫室氣體的2035年國(guó)家自主貢獻(xiàn)目標(biāo),攜手推動(dòng)全球氣候治理和進(jìn)步事業(yè),引發(fā)國(guó)際社會(huì)廣泛關(guān)注和積極反響。習(xí)近平主席在致辭中指出,“全球氣候治理雖然歷經(jīng)風(fēng)雨,但綠色低碳發(fā)展終成時(shí)代潮流"“只要我們堅(jiān)定信心,加強(qiáng)團(tuán)結(jié)合作,就一定能沖破逆流,推動(dòng)全球氣候治理和世界一切進(jìn)步事業(yè)行穩(wěn)致遠(yuǎn)"。同時(shí),習(xí)近平...

  • 2025

    4-30

    在醫(yī)療監(jiān)護(hù)領(lǐng)域,呼氣末二氧化碳濃度(ETCO2)作為關(guān)鍵生理指標(biāo),已被納入現(xiàn)代生命體征監(jiān)測(cè)體系,與體溫、呼吸頻率、脈壓、血壓及血氧飽和度共同構(gòu)成六大基礎(chǔ)監(jiān)護(hù)參數(shù)。該指標(biāo)能實(shí)時(shí)反映患者代謝水平、通氣功能及循環(huán)狀態(tài),在臨床實(shí)踐中具有重要價(jià)值。2017年由國(guó)內(nèi)急危重癥領(lǐng)域?qū)<衣?lián)合制定的《急診呼氣末二氧化碳監(jiān)測(cè)專家共識(shí)》,系統(tǒng)闡述了該技術(shù)在氣道管理、呼吸監(jiān)護(hù)、循環(huán)評(píng)估、輔助診斷及預(yù)后判斷等五大臨床維度的應(yīng)用場(chǎng)景,尤其在麻醉管理優(yōu)化、呼吸支持效果評(píng)價(jià)和心肺復(fù)蘇質(zhì)量監(jiān)控方面展現(xiàn)顯著優(yōu)勢(shì)。...

  • 2025

    4-28

    在長(zhǎng)途駕駛過程中,很多車主都曾經(jīng)歷過這樣的困擾:關(guān)閉車窗長(zhǎng)時(shí)間駕駛后,逐漸感到困倦、注意力渙散,甚至出現(xiàn)頭痛等癥狀。傳統(tǒng)認(rèn)知往往將這些現(xiàn)象簡(jiǎn)單歸咎于“車內(nèi)缺氧”,但真正的元兇其實(shí)是不斷累積的二氧化碳(CO2)。相較于室內(nèi)環(huán)境,車內(nèi)空間更為狹小密閉,CO2濃度的上升速度更快,對(duì)行車安全的影響更為直接且嚴(yán)重。缺氧的本質(zhì):CO2的“隱形攻擊”科學(xué)研究表明,在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下,車艙內(nèi)的氣體變化具有特殊性??諝庵醒鯕獾恼:渴?1%,對(duì)人體產(chǎn)生影響的臨界值為19.5%,低于臨界值人體易呼...

  • 2025

    4-25

    一氧化碳(CO)是一種無色無味的有毒氣體。根據(jù)英國(guó)衛(wèi)生與社會(huì)保障部研究數(shù)據(jù),英國(guó)每年平均發(fā)生50起家庭一氧化碳中毒致死事件,并導(dǎo)致高達(dá)4,000例醫(yī)療就診。為降低一氧化碳中毒事件發(fā)生率,近年來多國(guó)相繼出臺(tái)法規(guī)強(qiáng)制要求室內(nèi)安裝一氧化碳報(bào)警器。在政策驅(qū)動(dòng)下,室內(nèi)一氧化碳報(bào)警器的安裝已成為強(qiáng)制性安全措施,這也直接推動(dòng)了全球一氧化碳報(bào)警器市場(chǎng)需求快速增長(zhǎng)。四方光電早前已成功開發(fā)一氧化碳傳感器及報(bào)警器解決方案,致力于通過精準(zhǔn)氣體檢測(cè)技術(shù)降低中毒事故發(fā)生率。面對(duì)市場(chǎng)對(duì)OEM一氧化碳報(bào)警器...

  • 2025

    4-18

    標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介隨著新能源汽車的快速發(fā)展,動(dòng)力電池的安全性成為行業(yè)核心議題。近日,工信部最新頒布的GB38031-2025《電動(dòng)汽車動(dòng)力蓄電池安全要求》將于2026年7月1日正式實(shí)施,以熱失控防護(hù)為核心構(gòu)建多重生死防線,被稱為“***嚴(yán)電池安全令”。核心修訂內(nèi)容如下:?熱失控防護(hù)升級(jí):電池系統(tǒng)在單體熱失控后2小時(shí)內(nèi)必須不起火、不爆炸;?溫度嚴(yán)格管控:所有監(jiān)測(cè)點(diǎn)溫度≤60℃;?報(bào)警響應(yīng)提速:熱失控信號(hào)需在5分鐘內(nèi)發(fā)出預(yù)警,且報(bào)警前后5分鐘內(nèi)乘員艙內(nèi)無可見煙氣;?新增測(cè)試場(chǎng)景:新增底部撞...

  • 2025

    4-17

    近年來,車內(nèi)空氣質(zhì)量問題受到廣泛關(guān)注。車輛作為主要污染源,在排放顆粒物的同時(shí),行駛過程中外部污染物也會(huì)通過通風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)入艙內(nèi)。艙內(nèi)顆粒物濃度升高的成因可分為:1.外部因素大氣污染:霧霾天氣使用外循環(huán)時(shí),低質(zhì)量外部空氣導(dǎo)致艙內(nèi)PM濃度升高交通尾氣:密閉空間內(nèi)擁堵怠速加劇有害尾氣暴露道路狀況:多塵或泥濘路況增加顆粒物侵入2.內(nèi)部因素內(nèi)飾揮發(fā):座椅/塑料件釋放顆粒物人為活動(dòng):吸煙、噴霧劑使用等行為3.車輛功能因素空氣循環(huán):長(zhǎng)期內(nèi)循環(huán)導(dǎo)致污染物積聚濾芯失效:空調(diào)濾芯老化/堵塞降低過濾效...

  • 2025

    4-16

    四方光電股份有限公司的創(chuàng)新型電化學(xué)一氧化碳傳感器ECO-5011系列已成功獲得UL2075認(rèn)證,標(biāo)志著該系列產(chǎn)品在一氧化碳?xì)怏w檢測(cè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)與可靠性。UL2075作為氣體與蒸汽探測(cè)器的核心認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn),為包括一氧化碳(CO)在內(nèi)的氣體檢測(cè)設(shè)備開發(fā)與認(rèn)證提供了關(guān)鍵指導(dǎo)。該標(biāo)準(zhǔn)依據(jù)美國(guó)國(guó)家消防協(xié)會(huì)NFPA70《國(guó)家電氣法規(guī)》,規(guī)定了適用于室內(nèi)外環(huán)境的便攜式可燃?xì)怏w及蒸汽探測(cè)器與傳感器的技術(shù)規(guī)范。為滿足UL2075嚴(yán)苛要求,四方光電一氧化碳傳感器歷經(jīng)多項(xiàng)精密測(cè)試,涵蓋精度驗(yàn)證...

  • 2025

    4-15

    近年來,全球平板顯示面板市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大,下游消費(fèi)電子領(lǐng)域(電視、電腦、手機(jī)等)以及商用顯示、車載顯示、醫(yī)療顯示等專業(yè)顯示市場(chǎng)需求持續(xù)增長(zhǎng)。為應(yīng)對(duì)市場(chǎng)擴(kuò)容需求,LCD和OLED面板制造過程中亟需提升良品率,以確保終端市場(chǎng)產(chǎn)品供應(yīng)并維持市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。影響LCD與OLED質(zhì)量的核心要素在平板顯示制造工藝中,顆粒污染與靜電損傷是影響良率的兩大關(guān)鍵因素。隨著器件小型化與精密化發(fā)展,高密度集成電路的圖形特征尺寸及表面沉積層厚度已縮至微米級(jí),這使得生產(chǎn)工藝對(duì)顆粒污染更為敏感?;妆砻骖w粒...

  • 2025

    4-11

    在鋰電池生產(chǎn)過程中,NMP(N-甲基吡咯烷酮)作為制備正極漿料的重要溶劑,其濃度監(jiān)控直接影響產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)安全。該物質(zhì)不僅具有腐蝕性,且易燃易爆特性使車間環(huán)境存在安全隱患,實(shí)時(shí)精準(zhǔn)的濃度監(jiān)測(cè)成為保障工藝穩(wěn)定與人員安全的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。目前普遍采用的催化燃燒式檢測(cè)儀存在痛點(diǎn):傳感器需頻繁停工校準(zhǔn)維護(hù),影響產(chǎn)線連續(xù)性;1~2年使用壽命增加使用成本;對(duì)硅、硫化氫等物質(zhì)的交叉敏感易導(dǎo)致傳感器中毒失效。這些問題制約著鋰電池企業(yè)生產(chǎn)效率與安全管控能力。針對(duì)如上問題,四方光電推出了自主研發(fā)的一款...

  • 2025

    4-9

    自1987年《蒙特利爾議定書》以來,制冷劑加速向零ODP(大氣臭氧消耗潛能值)、低GWP(全球變暖潛能值)迭代及滲透?!吨袊?guó)履行(關(guān)于消耗臭氧層物質(zhì)的蒙特利爾議定書)國(guó)家方案(2024-2030)(征求意見稿)》,明確提出鼓勵(lì)自然工質(zhì)制冷劑替代技術(shù)研發(fā)和應(yīng)用。全球日益趨嚴(yán)的法規(guī)及環(huán)保需求助推,以R290、R1234yf、R744等為代表的自然工質(zhì)制冷劑技術(shù)加速在電動(dòng)汽車熱系統(tǒng)領(lǐng)域的研發(fā)和應(yīng)用。R290冷媒為何更適合電動(dòng)汽車?與傳統(tǒng)內(nèi)燃機(jī)車用空調(diào)相比,電動(dòng)汽車無法使用發(fā)動(dòng)機(jī)余熱...

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