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紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

簡要描述:紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。

  • 產品型號:Gasboard-2060
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新日期:2025-05-27
  • 訪  問  量:1012

詳細介紹

紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

產品名稱:紅外氣體傳感器

產品型號:Gasboard-2060


紅外氣體傳感器產品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。


紅外氣體傳感器產品特性

(1)使用NDIR技術,多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

(2)響應時間快,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數(shù)字通信

(5)模塊化設計,便于集成


紅外氣體傳感器技術參數(shù)


檢測原理NDIR
檢測氣體SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm








應用領域

半導體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測


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