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半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點(diǎn)檢測解決方案

1.腔室清潔終點(diǎn)精確控制的重要性與挑戰(zhàn)薄膜沉積(如CVD/ALD)、光刻和刻蝕是半導(dǎo)體制造的三大核心工藝,其中薄膜沉積作為基礎(chǔ)環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)金屬、介質(zhì)及半導(dǎo)體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性,需定期使用NF?對腔室進(jìn)行清潔,以去除積聚的聚合物材料。精確控制清潔終點(diǎn)至關(guān)重要:l清潔不足:殘留沉積物會形成顆粒污染,導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降l過度清潔:增加NF?消耗、延長設(shè)備停機(jī)時間并縮短腔室壽命。傳統(tǒng)方法依賴經(jīng)驗時間控制清潔終點(diǎn),但最佳清潔時間受多變量影響(如沉積厚度、溫度、壓力、氣體...

  • 2025

    2-21

    一、《煤層氣(煤礦瓦斯)排放標(biāo)準(zhǔn)》修訂與甲烷排放控制甲烷是第二大溫室氣體,增溫潛勢高且壽命短,控制其排放對減緩全球變暖至關(guān)重要。中國作為甲烷排放大國,能源、農(nóng)業(yè)和廢棄物處理是主要排放源。其中,煤礦生產(chǎn)活動占能源領(lǐng)域甲烷排放的80%,因此,煤礦甲烷排放控制成為了國家減排工作的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。為加強(qiáng)甲烷排放控制,我國于2023年11月出臺《甲烷排放控制行動方案》,提出將適時完善煤礦瓦斯排放標(biāo)準(zhǔn)。2024年12月1日,生態(tài)環(huán)境部與國家市場監(jiān)督管理總局聯(lián)合發(fā)布新修訂的《煤層氣(煤礦瓦斯)排...

  • 2025

    2-12

    為什么MAP廣泛普及?氣調(diào)包裝(ModifiedAtmospherePackaging,簡稱MAP)是一種通過調(diào)整包裝內(nèi)部氣體成分來顯著延長產(chǎn)品保質(zhì)期的先進(jìn)包裝技術(shù)。它在保持產(chǎn)品品質(zhì)的同時,有效減少了化學(xué)防腐劑的使用,更好地契合了消費(fèi)者對健康和新鮮度的追求。MAP技術(shù)適用于多種食品類型,并且隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和成本降低,其應(yīng)用范圍持續(xù)拓展,已成為包裝行業(yè)的重要技術(shù)。在密封包裝中,未被產(chǎn)品占據(jù)的空間內(nèi)所含氣體被稱為“頂空氣體”。通過科學(xué)配比氧氣(O2)、二氧化碳(CO2)和氮?dú)?..

  • 2025

    2-7

    1.機(jī)動車尾氣PN分析儀的法規(guī)技術(shù)要求與粗顆粒(PM10)和細(xì)顆粒(PM2.5)相比,超細(xì)顆粒(PM0.1;動力學(xué)粒徑在肺部的沉積分?jǐn)?shù)更高、穿透程度更深、滯留率更高,因此越來越受到公共衛(wèi)生界的關(guān)注。機(jī)動車發(fā)動機(jī)尾氣已被確認(rèn)為環(huán)境超細(xì)顆粒排放的主要來源。機(jī)動車發(fā)動機(jī)尾氣排放中超細(xì)顆粒的質(zhì)量占比太小,顆粒質(zhì)量濃度難以體現(xiàn)超細(xì)顆粒排放水平,因而數(shù)量濃度是更好的量化指標(biāo)(如圖1所示)。圖1柴油發(fā)動機(jī)尾氣排放中顆粒數(shù)量濃度(藍(lán)色)和顆粒質(zhì)量濃度(紅色)的粒徑分布曲線(Zhangetal...

  • 2025

    1-24

    一、前言甲烷(CH4)是全q球第二大溫室氣體,具有較高的增溫潛勢,因此成為需要優(yōu)先控制的溫室氣體之一。中國油氣行業(yè)的甲烷排放量相對較大,2022年達(dá)到335.86萬噸,占全國總甲烷排放的13.24%。盡管在實(shí)現(xiàn)“碳中和”目標(biāo)的過程中嚴(yán)格限制化石燃料的使用,但天然氣作為低碳過渡能源,在達(dá)峰前其消費(fèi)量仍將快速攀升。由于天然氣的主要成分是甲烷,這一行業(yè)與甲烷排放緊密相關(guān),因此在全球范圍內(nèi)備受關(guān)注。隨著眾多國家及石油公司宣布“碳中和”目標(biāo),甲烷排放控制的重要性愈發(fā)凸顯?!笆奈濉逼陂g...

  • 2025

    1-14

    鋼鐵工業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)和國家綜合實(shí)力的重要標(biāo)志,我國鋼材產(chǎn)量2024年遭遇了近五年來最嚴(yán)峻的挑戰(zhàn):產(chǎn)能過剩、價格下跌和企業(yè)利潤大幅下降。根據(jù)中國鋼鐵工業(yè)協(xié)會的統(tǒng)計,2024年前三季度,重點(diǎn)鋼鐵企業(yè)營業(yè)收入同比下降6.87%,利潤總額下降56.39%。預(yù)計2025年行業(yè)外部環(huán)境仍然嚴(yán)峻,成本和質(zhì)量控制無疑是企業(yè)必須牢牢抓住的“生命線",是企業(yè)核心生存力的重要內(nèi)容。當(dāng)前,我國鋼鐵工業(yè)正處在由大向強(qiáng)轉(zhuǎn)變的歷史性節(jié)點(diǎn)。2022年多部委聯(lián)合發(fā)布的《關(guān)于促進(jìn)鋼鐵工業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的指導(dǎo)意...

  • 2025

    1-14

    一、煤氣熱值在線監(jiān)測系統(tǒng)的關(guān)鍵作用與實(shí)踐作為能源消耗高密集型行業(yè),鋼鐵行業(yè)是制造業(yè)31個門類中碳排放量的大戶,占全國碳排放總量15%左右,是國家“雙碳”政策的重點(diǎn)監(jiān)管對象。2024年5月27日,國家發(fā)展改革委等部門制定了《鋼鐵行業(yè)節(jié)能降碳專項行動計劃》,該計劃明確提出:要積極推進(jìn)副產(chǎn)煤氣利用,推廣燃?xì)狻羝?lián)合循環(huán)等發(fā)電技術(shù),支持開展軋鋼加熱爐煤氣反吹、轉(zhuǎn)爐底吹二氧化碳煉鋼等應(yīng)用。對于大型鋼鐵企業(yè)來講,要在副產(chǎn)煤氣回收利用上進(jìn)行優(yōu)化,生產(chǎn)降本增效,煤氣熱值分析無疑是關(guān)鍵一環(huán)。...

  • 2025

    1-7

    行業(yè)概述化工行業(yè)作為國家經(jīng)濟(jì)的重要支柱,涵蓋了天然氣化工、石油化工和煤化工等多個領(lǐng)域。據(jù)中國石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會最新數(shù)據(jù)顯示,2024年上半年,化工行業(yè)營業(yè)收入達(dá)到8萬億元,同比增長5.1%,而利潤總額為4294.7億元,同比下降1.6%。盡管營業(yè)收入有所增長,但利潤的下降反映出行業(yè)整體盈利能力有所減弱。因此,提質(zhì)增效成為化工行業(yè)提升經(jīng)濟(jì)效益的關(guān)鍵所在。近年來,國家發(fā)改委、工信部等相關(guān)部門制定了一系列與化工行業(yè)創(chuàng)新發(fā)展、綠色低碳轉(zhuǎn)型、節(jié)能降碳、安全生產(chǎn)等密切相關(guān)的重要文件和產(chǎn)...

  • 2024

    12-18

    隨著環(huán)保意識的增強(qiáng)和排放標(biāo)準(zhǔn)的提高,對工業(yè)排放煙氣的連續(xù)監(jiān)測變得越來越重要。煙氣排放連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)(CEMS)作為評估排放水平的關(guān)鍵技術(shù),其精確性和可靠性直接影響到政府環(huán)保決策和企業(yè)運(yùn)營。在眾多CEMS技術(shù)中,熱濕法和冷干法是兩種主流的煙氣采樣和分析方法。本文將對這兩種技術(shù)進(jìn)行比較分析。?熱濕法CEMS熱濕法CEMS是一種在煙氣分析過程中保持煙氣樣本原始溫度和濕度狀態(tài)的技術(shù),從而直接測量含水蒸氣的煙氣中的污染物濃度。與冷干法通過冷卻和干燥煙氣樣本以去除水分不同,熱濕法允許煙氣保...

  • 2024

    12-13

    快速在線多組分氣體檢測技術(shù)對各種工業(yè)過程控制至關(guān)重要。傳統(tǒng)的多組分氣體分析技術(shù)包括氣相色譜法、質(zhì)譜法和紅外吸收光譜法。氣相色譜儀的檢測速度太慢,質(zhì)譜儀過于精密且十分昂貴,紅外吸收光譜分析儀的可測量氣體種類非常有限,這三種傳統(tǒng)檢測設(shè)備均存在明顯缺陷,難以滿足工業(yè)過程控制的實(shí)際應(yīng)用需求。因此,在工業(yè)過程控制領(lǐng)域,迫切需要發(fā)展更加適用的多組分氣體檢測技術(shù)。四方光電(武漢)儀器有限公司(以下簡稱“四方儀器”)自主研發(fā)的新一代產(chǎn)品LRGA-3200EX原位激光拉曼光譜氣體分析儀,具有測...

  • 2024

    12-11

    一、概述統(tǒng)一規(guī)范的碳排放核算體系是推進(jìn)“雙碳"工作的關(guān)鍵基石,不論是碳市場配額交易及清繳、自愿減排市場的減排量認(rèn)定,還是碳減排金融支持工具、環(huán)境信息披露中的碳排放情況,都必須以碳排放統(tǒng)計核算工作為基礎(chǔ)。否則,所有的碳減排政策工具效果都將大打折扣。碳排放自動監(jiān)測系統(tǒng)(CEMS)是一種用于實(shí)時監(jiān)測和自動核算碳排放量的技術(shù)系統(tǒng),能夠通過連續(xù)監(jiān)測煙氣中的CO2、CH4、N2O等濃度和流速來計算碳排放量。與傳統(tǒng)的核算法相比,CEMS實(shí)測法具有更高的測量精度和實(shí)時性,有助于更準(zhǔn)確地掌握企...

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