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半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積設(shè)備腔室清潔終點(diǎn)檢測(cè)解決方案

1.腔室清潔終點(diǎn)精確控制的重要性與挑戰(zhàn)薄膜沉積(如CVD/ALD)、光刻和刻蝕是半導(dǎo)體制造的三大核心工藝,其中薄膜沉積作為基礎(chǔ)環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)金屬、介質(zhì)及半導(dǎo)體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性,需定期使用NF?對(duì)腔室進(jìn)行清潔,以去除積聚的聚合物材料。精確控制清潔終點(diǎn)至關(guān)重要:l清潔不足:殘留沉積物會(huì)形成顆粒污染,導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降l過(guò)度清潔:增加NF?消耗、延長(zhǎng)設(shè)備停機(jī)時(shí)間并縮短腔室壽命。傳統(tǒng)方法依賴(lài)經(jīng)驗(yàn)時(shí)間控制清潔終點(diǎn),但最佳清潔時(shí)間受多變量影響(如沉積厚度、溫度、壓力、氣體...

  • 2024

    7-3

    受到大氣污染、吸煙和人口年齡老化等因素的影響,呼吸系統(tǒng)疾病的發(fā)病率明顯增加。慢性阻塞性肺疾?。–OPD)是其中最為常見(jiàn)的一種呼吸系統(tǒng)疾病,中國(guó)成人肺部健康研究(CPHS)2018年調(diào)查數(shù)據(jù)估算總患病人數(shù)接近1億。采用肺功能儀等設(shè)備對(duì)肺功能進(jìn)行檢查是對(duì)COPD的診療尤其是早期篩查的重要手段,肺功能儀可以測(cè)定呼吸生理的許多指標(biāo),包括肺活量、最大分鐘通氣量及用力肺活量等,對(duì)于早期檢查出肺及氣道的病變,診斷病變部位和評(píng)估疾病的嚴(yán)重程度具有重要的臨床意義。肺功能儀檢測(cè)校準(zhǔn)的重要性肺功能...

  • 2024

    6-24

    隨著汽車(chē)消費(fèi)升級(jí),車(chē)載移動(dòng)空間正在成為繼家、辦公室之外的第三空間,車(chē)內(nèi)空氣品質(zhì)也受到消費(fèi)者的高度重視。行駛過(guò)程中,因道路顆粒、有害氣體進(jìn)入污染車(chē)內(nèi)空氣,影響司乘人員健康,普遍選擇關(guān)閉車(chē)窗開(kāi)啟內(nèi)循環(huán),隔絕外界空氣過(guò)濾車(chē)內(nèi)有害雜質(zhì)。而持久的內(nèi)循環(huán)模式下,車(chē)內(nèi)隔絕外部環(huán)境,空氣不流通,人體呼吸導(dǎo)致車(chē)內(nèi)氧氣越來(lái)越少,呼出的二氧化碳越來(lái)越高,在狹小車(chē)載座艙空間內(nèi),高濃度二氧化碳濃度環(huán)境易造成人體因缺氧而精神狀態(tài)不佳,引發(fā)交通意外,嚴(yán)重甚至出現(xiàn)昏迷或腦缺氧,影響駕乘人員健康及安全。研究表...

  • 2024

    6-17

    SF6是一種無(wú)色、無(wú)味、無(wú)毒且不燃的氣體,因其良好的電氣絕緣性能和滅弧性能,被用作絕緣和斷路器介質(zhì),在電力系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用。相關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示,80%的SF6氣體被應(yīng)用于氣體絕緣開(kāi)關(guān)設(shè)備(GIS),與常規(guī)電氣設(shè)備相比其具有空間體積小、運(yùn)行可靠性高、故障率小、維護(hù)費(fèi)用低、元件封閉不受外界環(huán)境干擾且檢修周期長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。SF6氣體泄漏的危害及監(jiān)測(cè)必要性GIS與常規(guī)電氣設(shè)備相比優(yōu)點(diǎn)很多,但從長(zhǎng)期的運(yùn)行情況來(lái)看,在電力設(shè)備的制造工藝、安裝環(huán)境以及設(shè)備老化等多方面因素影響下,存在著SF6氣體泄...

  • 2024

    6-4

    白酒作為中國(guó)的傳統(tǒng)酒,發(fā)展歷史悠久,在市場(chǎng)上也占據(jù)著主導(dǎo)地位。近年來(lái),隨著我國(guó)居民收入水平的持續(xù)提升,消費(fèi)者對(duì)品質(zhì)的追求也不斷提升。目前我國(guó)白酒行業(yè)面臨“由量到質(zhì)”的消費(fèi)轉(zhuǎn)變,“喝少點(diǎn)、喝好點(diǎn)”成為主流消費(fèi)心理。所以白酒釀造的品質(zhì)和安全是白酒廠現(xiàn)在需要密切關(guān)注的兩個(gè)問(wèn)題。白酒釀造品質(zhì)監(jiān)測(cè)白酒的釀造工藝可以分為三種,分別是固態(tài)發(fā)酵法、液態(tài)發(fā)酵法以及固液結(jié)合發(fā)酵法。目前我國(guó)大部分白酒企業(yè)采用的是傳統(tǒng)的固態(tài)發(fā)酵工藝,傳統(tǒng)的固態(tài)釀酒工藝大致分為七個(gè)步驟,分別是選料、制曲、固態(tài)發(fā)酵、蒸...

  • 2024

    5-24

    四方光電塵埃粒子計(jì)數(shù)器精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)微粒污染,助力顯示面板制程良率提升受益于下游電視、電腦、手機(jī)等消費(fèi)類(lèi)電子產(chǎn)品以及商顯、車(chē)載、醫(yī)療等專(zhuān)顯產(chǎn)品需求的推動(dòng),近年來(lái)中國(guó)顯示面板市場(chǎng)規(guī)模整體呈增長(zhǎng)態(tài)勢(shì),由2016年的2984億元增長(zhǎng)至2023的5694億元,但整體增速逐步趨緩,市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)進(jìn)一步加劇。中大尺寸市場(chǎng)仍由LCD技術(shù)主導(dǎo),但競(jìng)爭(zhēng)格局較為固定,需要進(jìn)一步提升產(chǎn)品良率,降本增效,以提升產(chǎn)品利潤(rùn)和競(jìng)爭(zhēng)力。OLED技術(shù)逐漸成熟,占領(lǐng)小尺寸市場(chǎng),但與LCD相比在工藝成熟度和產(chǎn)品良率上仍有較大...

  • 2024

    5-24

    近日,國(guó)外咨詢(xún)機(jī)構(gòu)YoleIntelligence發(fā)布報(bào)告《GasandParticlesensors2024》,報(bào)告對(duì)氣體和粉塵傳感器全球市場(chǎng)進(jìn)行了調(diào)研,分析了氣體和粉塵傳感器的市場(chǎng)現(xiàn)狀、具體的細(xì)分市場(chǎng)和未來(lái)發(fā)展趨勢(shì),報(bào)告顯示氣體和粉塵傳感器市場(chǎng)在2023年至2029年間增長(zhǎng)8%,到2029年市場(chǎng)總規(guī)模將達(dá)到約28億美元,在消費(fèi)、工業(yè)、汽車(chē)和醫(yī)療這4大領(lǐng)域都有所增長(zhǎng)。圖1氣體和粉塵傳感器的市場(chǎng)預(yù)測(cè)報(bào)告中提及的粉塵傳感器是一種用于監(jiān)測(cè)環(huán)境中粉塵顆粒濃度的裝置,它通過(guò)使用光學(xué)、...

  • 2024

    5-24

    半導(dǎo)體產(chǎn)能不斷擴(kuò)張,配套設(shè)備需求提升加速隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模也從2017年的1315億美元增長(zhǎng)至2022年的1820億美元。基于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程不斷加快,下游晶圓廠也在不斷擴(kuò)張,中國(guó)芯片制造商預(yù)計(jì)2024年將新開(kāi)18座晶圓廠,產(chǎn)能將從760萬(wàn)片推升至860萬(wàn)片。在半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化趨勢(shì)下,國(guó)內(nèi)晶圓廠的擴(kuò)張也有望帶動(dòng)半導(dǎo)體配套設(shè)備的國(guó)產(chǎn)替代需求,將隨著晶圓工廠的擴(kuò)產(chǎn)持續(xù)增加。顆粒污染影響產(chǎn)品品質(zhì),半導(dǎo)體制造潔凈度要求高根據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備制造商協(xié)會(huì)(S...

  • 2023

    4-25

    燃?xì)獍踩O(jiān)測(cè)四方光電致力于燃?xì)獍踩鉀Q方案的研究。在*安全監(jiān)測(cè)領(lǐng)域,利用自主掌握的紅外氣體傳感器技術(shù)等核心氣體傳感器技術(shù)優(yōu)勢(shì),實(shí)現(xiàn)各種燃?xì)庥脷鈭?chǎng)景的全天候精準(zhǔn)檢測(cè),及時(shí)捕捉燃?xì)庑孤┬畔?,同步完成?bào)警器報(bào)警、燃?xì)庑孤┬畔鬏?、及自?dòng)切斷燃?xì)忾y門(mén),守護(hù)燃?xì)庥脷獍踩?。可?shí)現(xiàn):■燃?xì)馐褂眠^(guò)程中的準(zhǔn)確報(bào)警,不誤報(bào),不漏報(bào);■使用壽命長(zhǎng)達(dá)10年以上,免維護(hù),更省心、省力、省錢(qián);■抗硅中毒、抗乙酸、乙醇干擾,數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度更高;■抗高油煙、高溫,更符合中國(guó)式廚房環(huán)境。在燃?xì)庑孤z測(cè)方面,四方光...

  • 2022

    11-15

    9月28日,中國(guó)人民銀行宣布為貫徹落實(shí)國(guó)務(wù)院常務(wù)會(huì)議關(guān)于支持經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展薄弱領(lǐng)域設(shè)備更新改造的決策部署,設(shè)立了2000億元以上設(shè)備更新改造專(zhuān)項(xiàng)再貸款,政策面向教育、實(shí)訓(xùn)基地、節(jié)能降碳改造升級(jí)、新型基礎(chǔ)設(shè)施等十個(gè)領(lǐng)域。四方光電股份有限公司(688665.SH)旗下全資子公司四方光電(武漢)儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“四方儀器”)是一家專(zhuān)業(yè)提供氣體成分及流量測(cè)量方案的高新技術(shù)企業(yè),基于四方光電核心氣體傳感技術(shù)平臺(tái)的優(yōu)勢(shì),開(kāi)發(fā)了系列非分光紅外(NDIR)、非分光紫外(NDUV)、紫外差...

  • 2022

    11-14

    天然氣、沼氣以及工業(yè)生產(chǎn)中可燃?xì)怏w的高效利用對(duì)節(jié)能減排具有十分重要的意義。準(zhǔn)確測(cè)量可燃?xì)怏w成分及熱值并自動(dòng)優(yōu)化控制燃燒過(guò)程是提高燃燒效率和控制排放污染的重要途經(jīng)。天然氣等碳?xì)淙剂系臍怏w成分分析主要依賴(lài)氣相色譜法,但該方法的響應(yīng)時(shí)間達(dá)90s以上,往往不能滿(mǎn)足大多數(shù)場(chǎng)合的實(shí)時(shí)控制應(yīng)用需求。中國(guó)人民銀行于9月設(shè)立2000億元以上設(shè)備更新改造專(zhuān)項(xiàng)再貸款,旨在貫徹落實(shí)國(guó)務(wù)院常務(wù)會(huì)議關(guān)于支持經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展薄弱領(lǐng)域設(shè)備更新改造的決策部署。四方光電股份有限公司(688665.SH)旗下全資子公...

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