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1.腔室清潔終點(diǎn)精確控制的重要性與挑戰(zhàn)薄膜沉積(如CVD/ALD)、光刻和刻蝕是半導(dǎo)體制造的三大核心工藝,其中薄膜沉積作為基礎(chǔ)環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)金屬、介質(zhì)及半導(dǎo)體薄膜的制備。為確保薄膜沉積工藝的穩(wěn)定性,需定期使用NF?對(duì)腔室進(jìn)行清潔,以去除積聚的聚合物材料。精確控制清潔終點(diǎn)至關(guān)重要:l清潔不足:殘留沉積物會(huì)形成顆粒污染,導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降l過(guò)度清潔:增加NF?消耗、延長(zhǎng)設(shè)備停機(jī)時(shí)間并縮短腔室壽命。傳統(tǒng)方法依賴經(jīng)驗(yàn)時(shí)間控制清潔終點(diǎn),但最佳清潔時(shí)間受多變量影響(如沉積厚度、溫度、壓力、氣體...
4-18
激光粉塵傳感器是利用激光散射原理,對(duì)空氣中存在的粉塵顆粒物進(jìn)行探測(cè),具有良好的選擇性、穩(wěn)定性。ZH03激光粉塵傳感器模組具有數(shù)字輸出和模擬輸出,方便使用,可廣泛應(yīng)用于便攜式儀表、空氣質(zhì)量監(jiān)測(cè)設(shè)備、空氣凈化機(jī)、新風(fēng)換氣系統(tǒng)、空調(diào)、智能家居設(shè)備等場(chǎng)所。激光粉塵傳感器的結(jié)構(gòu)和電路相對(duì)雜亂。其光源為激光二極管。采樣或鼓風(fēng)機(jī)推進(jìn),通過(guò)雜亂規(guī)劃的風(fēng)道,進(jìn)行檢測(cè)。當(dāng)空氣中的細(xì)顆粒物進(jìn)入激光束所在區(qū)域時(shí),將使激光發(fā)作散射;散射光在空間360°都有輻射,咱們?cè)谶m當(dāng)位置放置光電探測(cè)器,使之只接收...
4-13
在第一臺(tái)激光器誕生60多年后的今天,隨著激光光源、探測(cè)技術(shù)、實(shí)驗(yàn)裝置和數(shù)據(jù)處理等各方面技術(shù)的飛躍發(fā)展,激光光譜技術(shù)作為微觀感知領(lǐng)域的核心技術(shù),已經(jīng)成為物理、化學(xué)、生物、環(huán)境以及天文學(xué)等領(lǐng)域中研究光與物質(zhì)相互作用的重要手段,從實(shí)驗(yàn)室基礎(chǔ)研究到各領(lǐng)域應(yīng)用第一線都扮演著重要的角色。拉曼光譜技術(shù)早有布局,突破工業(yè)過(guò)程氣體分析技術(shù)瓶頸在工業(yè)過(guò)程氣體監(jiān)測(cè)領(lǐng)域,傅里葉紅外(FITR)、質(zhì)譜(MS)、氣相色譜(GC)等原理的氣體分析儀各有優(yōu)點(diǎn)。傅里葉紅外技術(shù)一個(gè)氣室很難適合不同的量程,也無(wú)法...
4-2
近日,由于上海某隔離酒店使用了回風(fēng)+新風(fēng)混合進(jìn)行空氣調(diào)節(jié),全建筑通風(fēng)系統(tǒng)僅一個(gè)通風(fēng)道,導(dǎo)致病毒通過(guò)空氣循環(huán)在公共空間內(nèi)傳播,多人交叉感染,引發(fā)大家關(guān)注。疫情當(dāng)下,新風(fēng)系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)不容忽視,從公共建筑,到家居環(huán)境,四方光電用傳感守護(hù),讓您的一呼一吸更加舒適、健康、智能!室內(nèi)空氣品質(zhì)大多數(shù)人超過(guò)90%的時(shí)間在室內(nèi)度過(guò),室內(nèi)空氣品質(zhì)與人類(lèi)健康的相關(guān)性日益明顯。場(chǎng)所內(nèi)人員的活動(dòng)造成CO2濃度持續(xù)升高,高濃度二氧化碳對(duì)人體造成的危害不容小覷。節(jié)能降碳綠色發(fā)展在“碳達(dá)峰”和“碳中和”背...
4-2
2022年3月5日,第十三屆全國(guó)人民代表大會(huì)第五次會(huì)議的政府工作報(bào)告中提到:“圍繞國(guó)家重大戰(zhàn)略部署和“十四五”規(guī)劃,適度超前開(kāi)展基礎(chǔ)設(shè)施投資。建設(shè)重點(diǎn)水利工程、綜合立體交通網(wǎng)、重要能源基地和設(shè)施,加快城市燃?xì)夤艿赖裙芫W(wǎng)更新改造,完善防洪排澇設(shè)施,繼續(xù)推進(jìn)地下綜合管廊建設(shè),中央預(yù)算內(nèi)投資安排6400億元。”燃?xì)獍踩c人們生產(chǎn)生活息息相關(guān),已成為城市應(yīng)急管理工作的頭等大事。四方光電掌握非分光紅外(NDIR)、可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜(TDLAS)、電化學(xué)等多種核心技術(shù)平臺(tái)及應(yīng)用,...
3-11
如果你去買(mǎi)車(chē)或者驗(yàn)車(chē),常聽(tīng)到國(guó)六標(biāo)準(zhǔn)的說(shuō)法,汽車(chē)銷(xiāo)售們還會(huì)告訴你盡量要買(mǎi)符合國(guó)六B的車(chē)型。你可能會(huì)好奇:什么是國(guó)六A、國(guó)六B?國(guó)六B又是通過(guò)什么樣的標(biāo)準(zhǔn)和測(cè)試設(shè)備檢測(cè)出來(lái)的呢?在國(guó)產(chǎn)化替代的今天,有沒(méi)有國(guó)產(chǎn)的測(cè)試設(shè)備能夠支持國(guó)六B排放標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試呢?本文將帶您全面了解,什么是國(guó)六?什么樣的裝備能夠全面支持國(guó)六B測(cè)試?在國(guó)六B標(biāo)準(zhǔn)趕超歐6標(biāo)準(zhǔn)的當(dāng)下,咱國(guó)產(chǎn)的測(cè)試裝備是否也可*替代進(jìn)口?國(guó)六A和國(guó)六B國(guó)六標(biāo)準(zhǔn),即“國(guó)家第六階段機(jī)動(dòng)車(chē)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)”,主要涉及以下四個(gè)標(biāo)準(zhǔn),史上較嚴(yán)的...
3-9
環(huán)境污染一直都是大家關(guān)注的焦點(diǎn)問(wèn)題,為了緩解機(jī)動(dòng)車(chē)排放帶來(lái)的大氣污染,近年來(lái)世界各國(guó)都在爭(zhēng)相發(fā)展新能源汽車(chē)。雖然新能源汽車(chē)都得到了長(zhǎng)足的發(fā)展,但是現(xiàn)階段以汽油、柴油為燃料的內(nèi)燃機(jī)的應(yīng)用仍然占據(jù)主導(dǎo)地位。怎樣有效地控制汽車(chē)污染,仍然是全球關(guān)注且亟待解決的問(wèn)題。為了給環(huán)境保駕護(hù)航,全球范圍內(nèi)各項(xiàng)環(huán)保法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)相繼出臺(tái)。對(duì)我國(guó)而言,環(huán)境保護(hù)部、國(guó)家質(zhì)檢總局等相關(guān)部門(mén)也針對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)排放檢測(cè)制定了標(biāo)準(zhǔn),確定了排放限值和檢測(cè)方法,同時(shí)也對(duì)相關(guān)的儀器技術(shù)提出了新的需求。鑒于此,各大儀器廠商在...
9-7
隨著我國(guó)機(jī)動(dòng)車(chē)保有量的增加,大氣污染正在向工業(yè)燃煤污染與機(jī)動(dòng)車(chē)排氣污染復(fù)合型發(fā)展,機(jī)動(dòng)車(chē)排氣污染對(duì)顆粒物和氮氧化物的貢獻(xiàn)率較大,尤其是非道路移動(dòng)柴油機(jī)械的排放,對(duì)我國(guó)環(huán)境空氣質(zhì)量的影響日益凸顯,成為我國(guó)污染治理的重中之重。而污染治理,當(dāng)以檢測(cè)為先。一、政策標(biāo)準(zhǔn)介紹我國(guó)非道路移動(dòng)柴油機(jī)械的排放檢測(cè)雖起步較晚,但在政策標(biāo)準(zhǔn)的頒布和實(shí)施上也形成了體系。生態(tài)環(huán)境部2018年第34號(hào)公告發(fā)布《非道路移動(dòng)機(jī)械污染防治技術(shù)政策》,各地也紛紛出臺(tái)機(jī)動(dòng)車(chē)和非道路移動(dòng)柴油機(jī)械防治污染條例或辦法,...
8-12
一、非道路國(guó)四排放法規(guī)背景及要求HJ1014-2020《非道路柴油移動(dòng)機(jī)械污染物排放控制技術(shù)要求》于2020年12月28日發(fā)布,要求從2022年12月1日起,所有生產(chǎn)、進(jìn)口和銷(xiāo)售的560KW(含560KW)的非道路移動(dòng)機(jī)械及裝用的柴油機(jī),必須符合本標(biāo)準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布,為國(guó)內(nèi)非道路機(jī)械主機(jī)廠設(shè)定了鬧鐘,國(guó)四產(chǎn)品的準(zhǔn)備正式步入倒計(jì)時(shí)階段。該標(biāo)準(zhǔn)是對(duì)2014年頒布的GB20891-2014《非道路移動(dòng)機(jī)械用柴油機(jī)排氣污染物排放限值及測(cè)量方法(中國(guó)DI三、四階段)》第四階段內(nèi)容的補(bǔ)充。...
6-8
肺功能檢查儀進(jìn)行檢測(cè)校準(zhǔn)的必要性慢性呼吸系統(tǒng)疾病排在心腦血管病、癌癥之后,成為我國(guó)居民慢性病致死的第三位死因。肺功能檢查作為慢性氣道等呼吸疾病診斷的金標(biāo)準(zhǔn)之一,是慢性阻塞性肺疾病防治和檢查的關(guān)鍵。肺功能檢查儀是檢測(cè)肺臟吸入、呼出氣體容量和速率,從而了解呼吸生理和呼吸功能是否正常的一種設(shè)備,主要由肺量計(jì)、氣體分析器等部件組成。肺功能檢查儀對(duì)于早期檢出肺及氣道的病變,診斷病變部位和評(píng)估疾病的嚴(yán)重程度具有重要的臨床意義。在鐘南山院士、王辰院士等國(guó)內(nèi)專(zhuān)家的推動(dòng)下,“要像測(cè)量血壓一樣,...
3-12
隨著我國(guó)機(jī)動(dòng)車(chē)保有量的增加,大氣污染正在向工業(yè)燃煤污染與機(jī)動(dòng)車(chē)排氣污染復(fù)合型發(fā)展,機(jī)動(dòng)車(chē)排氣污染對(duì)顆粒物和氮氧化物的貢獻(xiàn)率較大,尤其是非道路移動(dòng)柴油機(jī)械的排放,對(duì)我國(guó)環(huán)境空氣質(zhì)量的影響日益凸顯,成為我國(guó)污染治理的重中之重。而污染治理,當(dāng)以檢測(cè)為先。一、政策標(biāo)準(zhǔn)介紹我國(guó)非道路移動(dòng)柴油機(jī)械的排放檢測(cè)雖起步較晚,但在政策標(biāo)準(zhǔn)的頒布和實(shí)施上也形成了體系。生態(tài)環(huán)境部2018年第34號(hào)公告發(fā)布《非道路移動(dòng)機(jī)械污染防治技術(shù)政策》,各地也紛紛出臺(tái)機(jī)動(dòng)車(chē)和非道路移動(dòng)柴油機(jī)械防治污染條例或辦法,...
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